济南诚泽机械有限公司专业生产罗茨鼓风机,三叶罗茨鼓风机,高压双油箱水冷式风机,沼气增压泵,管道增压泵,真空泵的厂家。4,真空泵启动压力:真空泵启动压力单位为Pa,是指泵启动时没有损坏的压力,具有泵送效果。公司不仅有使您满意的销售,而且有令您放心的售后服务,彻底追求产品质量和建立相应的售后服务体系是我们一贯的方针,我们将总结经验、不断进取,研制出更新、更好的产品来满足用户的需求,用我们全位的服务,为您企业的发展作有力的后盾。
罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。
靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。
罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不可以单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气。2、罗茨泵换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。
它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似,工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触,
间隙一般为0.1~0.8毫米;不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高,加工精度易于保证,故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450~4100转/分;抽气速率为30~10000升/秒(1升=10-3米3);极限真空:单级为6.5×102帕,双级为1×103帕。
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真空腔室的模块化设计和加工
该设备属生产设备,主要功能包括:钛/锆磁控溅 射镀装饰膜,反应膜、复合膜。其它功能还包括:行星旋转基片台、负偏压辅助沉积、PLC+HMI真空自动/手动控 制、水冷循环及断水保护系统,预留多个标准接口。真空腔室的模块化设计和加工。通过此项技术提高了腔室设计和加工效率,提高了重大部件的加工质量和互换性,缩短了整条线的交货周期。使用旋转阴极和中频电源,大蒸发电流达到400A,大大提高生产效率及膜层性能;通过辅助5段供气,提高真空环境工艺气体分布均匀性,提高膜层质量;安装整体式模块化阴极屏蔽挡板,大大减少维修时间,降低维修成本。旋片式真空泵机存在泄漏点 对于旋片式真空泵机来说,出现机械密封件发生的泄漏的情况时有发生,而且泄漏所发生的部位也是相当广泛的,而且几乎这会涉及所有的流体输送与储存的物体上,同时在在旋片式真空泵中,机械密 的配件。阴极采用隔离冷却装置,改变以往阴极磁钢因工作在循环水中不断吸附杂质而影响磁场强度和寿命。新方法使磁钢工作在真空环境,大大提高了阴极稳定性和寿命。采用自主研发的倾斜式磁钢矩阵排列,扩大了阴极靶材表面气隙场范围,增大了靶材被刻蚀溅射的面积,提高靶材的利用率和均匀性。表面气隙场水平分量均匀性在±2%以内。使用自主研发的三维空间磁场测量分析系统,系统用于测量磁钢阵列的空间气隙场分布及磁钢安装、调整,为阴极研发提供有效的技术手段。触摸屏+PLC,可以实现电脑全自动控制,自动/手动随时切换。同时配备先进的圆柱磁控溅射装置和的电阻加热蒸发装置,将磁控溅射技术和加热蒸发技术的有效结合,使设备的适用范围更广,可得到多种不同性能的膜层;独特的双门(室)结构,使工件及镀料的装卸与镀膜可同时进行,大大提高工作效率。
真空泵的两个转子是通过一对齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种:其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动,这样主动转子轴的扭转变形小,则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变,故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足工艺要求。有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压力低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵,我们称之为真空泵机组,它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵,由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求,例如:在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。当您选择油封泵时,您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等,也能达到清洁真空要求。
ZJ系列罗茨真空泵定期检查:
1、每日检查:
a)油位检查:油量过多,使温度升高,油量过少,造成润滑不良。
b)温度检查:用温度计检查泵各部位温度。
c)电动机负荷检查:用功率表或电流,电压表测量电动机负荷。
2、ZJ系列罗茨真空泵每月检查:
联轴器及垫片是否损坏和松动。
3、ZJ系列罗茨真空泵每3个月检查:
齿轮箱内润滑油是否变质。
4、ZJ系列罗茨真空泵每6个月检查:
a)前盖轴承箱内润滑油是否变质。
b)活塞环及活塞环衬套是否磨损。
c)齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响,是否需要调整。
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